电话:022-58013177
传真:022-86786257
联系人：张浩
邮件:gaoyaboli@163.com
地址:天津市滨海新区汉沽临津产业园科创新城8A
QQ:1478862731
羟基在石英玻璃中是一种有害的非金属杂质，它可降低石英玻璃的耐温性，羟基含量1200×10-6时降低软化温度70℃，对半导体技术用石英玻璃有一定影响，在电光源石英玻璃中，羟基在高温下扩散出来使灯中的卤化物变质，电极氧化中毒，严重时会造成熄弧，影响灯的使用寿命。所以连熔石英玻璃要在真空中改为煅烧，消除羟基，称脱羟。
羟基工艺有三中形式：①在空气中进行煅烧，因为空气中含水，所以只能清除亚稳定羟基，脱羟基装备可采用隧道窑，推板窑或者箱式电炉，电加热，最高温度1000℃，脱羟后残留稳定型羟基含量在20×10-6左右；②在脱羟炉中通高纯N2【N2经过提纯，含水量为（1~2）×10-6】，脱羟设备可采用推板式电炉和箱式电炉，炉门必须密闭，炉子底部留有进N2口，炉子顶部留有出N2口，整个脱羟过程不断送入高纯N2.最高温度1100℃；③真空脱羟采用扩散泵抽真空，真空度为，5×10-3Pa，采用分子泵抽真空，真空度可达1×10-4Pa，炉子性能见下表。
|
产品型号
|
炉内尺寸/mm
|
最高温度/℃
|
温度均匀性/℃
|
机械真空度/Pa
|
热态真空度/Pa
|
|
L651211-11/ZM
|
Φ200×300
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
L651211-13/ZM
|
Φ300×400
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
L12700/ZM
|
400×400×600
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
L12111-10/ZM
|
610×610×1000
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
L12111-18/ZM
|
700×700×1000
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
L12111-14/ZM
|
700×800×1600
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
L12111-37/ZM
|
800×1000×3300
|
1200
|
±5
|
5×10-4
|
5×10-3
|
|
分子泵
|
350×350×500
|
1200
|
±5
|
5×10-5
|
5×10-4
|
